S700系列
· 高精度流量控制
· 全量程內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)
· 壓力不敏感特性
· 量程/氣體切換功能
· 自帶屏顯，界面友好
· 嚴(yán)格執(zhí)行SEMI標(biāo)準(zhǔn)
S700系列
S700系列
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號(hào)分類 | S700·DeviceNet版 | S700·D/A版 |
| 量程 (氮?dú)獾刃? |
(0~10,20,50,100,200,500)Sccm (0~1,2,5,10)slm 其他量程可選，具體請(qǐng)咨詢 |
|
| 精度1 | ±1.0%S.P.(>25%F.S.) ±0.25%F.S.(≤25%F.S.) |
|
| 量程比 | 50:1 | |
| 工作溫度 | 0~50℃(建議15~45℃) | |
| 存儲(chǔ)溫度 | -20~80℃ | |
| 響應(yīng)時(shí)間2 | ≤1s | |
| 線性度 | ≤±0.5%F.S. | |
| 可重復(fù)性 | ≤±0.2%F.S. | |
| 工作壓差 | 50to300kPa | |
| 壓力波動(dòng)補(bǔ)償 | ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.)@5psi/s | |
| 外漏 | ≤5.0×10-12Pam3/s(He) | |
| 氣路材料 | SUS316LvV | |
| 閥默認(rèn)狀態(tài) | 常閉 | |
| 閥完全關(guān)閉 時(shí)的流量 |
≤±1.0%F.S. | |
| 供電電壓 | DC24V±5% | |
| 通訊接口 | M12(5針) | DB9M,RJ45雙網(wǎng)口 |
| 通訊協(xié)議 | DeviceNet | RS485 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1/4inchVCR,1.125inchiGS,其它可選 | |
| 安裝方向 | 安裝方向不影響精度 | |
備注
1. %S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比，%F.S.指誤差占滿量程的百分比，測試時(shí)采用氮?dú)猓渌鼫y試條件滿足本規(guī)格書要求。
2. 響應(yīng)時(shí)間指達(dá)到設(shè)定值±2%以內(nèi)所需要的時(shí)間，測試時(shí)采用氮?dú)猓?5℃，其它測試條件滿足本規(guī)格書要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體
關(guān)鍵詞：
芯笙值得信賴
完善的技術(shù)、過硬的質(zhì)量、獨(dú)特的服務(wù)，始終引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展
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