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產(chǎn)品和應(yīng)用領(lǐng)域
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P500系列
· 超小的體積,適合系統(tǒng)集成
· 低成本經(jīng)濟(jì)型解決方案
· 高精度、高分辨率
· 優(yōu)越的零點(diǎn)穩(wěn)定性
· 良好的重復(fù)性
· 超快的響應(yīng)時(shí)間
P500系列
P500系列
產(chǎn)品規(guī)格
| 壓力控制量程 | 0-50/100Torr | ||
| 壓力控制精度 | ±0.5%FS | ||
| 壓力控制范圍 | 1-100%FS | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ls | ||
| 通訊方式 | RS485、EtherCAT、DeviceNet | ||
| 壓力信號(hào)輸出 | 0-10V | ||
| 流量信號(hào)輸出 | 0-5V | ||
| 進(jìn)氣壓力范圍 | 1.5-3Bar | ||
| 流量檢測(cè)范圍(氨氣 | 0-20/50/100sccm(其他請(qǐng)咨詢) | ||
| 流量檢測(cè)精度 | 0-25%FS:＜0.3%FS; >25% FS:1 %RD | ||
| 漏率(對(duì)外) | ≤le-12 Pa.m^3/s(氮?dú)? | ||
| 漏率(對(duì)內(nèi)) | ＜0.1sccm(氮?dú)? | ||
| 供電電壓 | 18-32V(推薦24V) | ||
| 接頭類(lèi)型 | 1/4VCR | ||
| 工作溫度 | 15-40℃ |
通訊連接
DeviceNet版
M12 定義
| 引肉序號(hào) | 信號(hào)名 |
M12(5 針) |
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| 1 | NC. | ||
| 2 | DC24V | ||
| 3 | 電7地 | ||
| 4 | CanH | ||
| 5 | CanL | ||
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體晶圓氦冷系統(tǒng)
液源壓力控制系統(tǒng)
MOCVD蒸汽壓力控制
關(guān)鍵詞：
芯笙值得信賴(lài)
完善的技術(shù)、過(guò)硬的質(zhì)量、獨(dú)特的服務(wù)，始終引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展
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