新突破！青島芯笙公司獲國家重點研發(fā)計劃項目立項支持
發(fā)布時間：
2024-01-09
概要
青島芯笙微納電子科技有限公司做為課題牽頭單位申報的國家重點研發(fā)計劃“微量程流量敏感元件及傳感器”項目獲科技部立項批復，并于2023年12月獲得首批撥款，項目正式進入實施階段。這是青島芯笙微納電子科技有限公司首次獲得該類項目的支持，意味著公司正式進入國家隊、相關技術獲得國家層面的認可。
國家重點研發(fā)計劃由原國家重點基礎研究發(fā)展計劃（973計劃）、國家高技術研究發(fā)展計劃（863計劃）、國家科技支撐計劃等整合而成，是為了滿足國家重大需求、提高產(chǎn)業(yè)核心競爭力和自主創(chuàng)新能力、解決當前及未來發(fā)展面臨的科技瓶頸和突出問題而實施的一系列重大科研發(fā)展計劃。
項目主要研究內(nèi)容
“微量程流量敏感元件及傳感器”項目中青島芯笙公司聯(lián)合漢威集團、航天五院511所、中國電科49所、中科院微電子所等單位進行關鍵技術攻關。該項目經(jīng)過評選、答辯多個環(huán)節(jié)，最終獲得行業(yè)專家認可、科技部立項批準。項目面向氫能、半導體等行業(yè)對微小氣體流量檢測的需求，研制全球領先的”溫-壓-流“一體化集成流量傳感器芯片和系統(tǒng)集成技術，實現(xiàn)目標量程僅為0.2sccm的流量計產(chǎn)品。該項目的實施，將有效促進公司在流量傳感器及流量計方面的開發(fā)，提高國家在先進氣體流量測控技術領域的技術水平。
公司簡介
青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園，孵化自山東大學。公司以高端氣體質(zhì)量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum Transducer）、壓力控制器（EPC）等半導體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的國家高新技術企業(yè)。通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學研合作，助力國家半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。公司目前承建青島市先進氣體流量測控重點實驗室、青島市智能傳感器工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構，并榮獲山東“專精特新”、青島等稱號。公司創(chuàng)始團隊成員來自海外傳感器知名研究機構和專業(yè)儀器儀表公司，在傳感器芯片設計、計量儀表開發(fā)方面具有豐富經(jīng)驗。公司現(xiàn)有潔凈廠房4000余平米，具有IS09001、IS014001等體系認證。相關產(chǎn)品被廣泛應用于光伏、半導體、氣體分析儀、釬焊/氬弧焊、計量院、實驗室等特氣專業(yè)使用領域，以及建筑通風和汽車等民用領域。
2014—2019技術積累
2020：0-250slm 流量計0-1slm MFC微型數(shù)字風速計
2021：0-800slm流量計0-10slm MFCMFM：50, T系列 MFC：E, T, UT系列
2022：S500系列半導體級 MFC電子壓力控制器 比例閥開發(fā)：50-500L/min量程
2023：薄膜真空規(guī) 全金屬密封MFC S300D氣體測控解決系統(tǒng)方案
壓電比例閥 高精度差壓MFC DT500 半導體流量計S70
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