小身材，大能量！
發(fā)布時間：
2024-03-20
概要
熱式流量傳感器是一種基于流體傳熱學原理的傳感器，廣泛應用于各類氣體流量測量，具有精度高、穩(wěn)定性好、可靠性高等優(yōu)點。
熱式流量傳感器是一種基于流體傳熱學原理的傳感器，廣泛應用于各類氣體流量測量，具有精度高、穩(wěn)定性好、可靠性高等優(yōu)點。
目前，熱式流量傳感器主要有兩種解決方案：一種是毛細管式流量傳感器，需要在內(nèi)徑為幾個毫米的毛細管上纏繞電阻絲，這種方案加工復雜，且熱容較大，響應速度慢；另一種方案為時下主流的MEMS芯片式流量傳感器，該方案采用MEMS工藝在硅基襯底上制作微米級的Heater和檢測單元，利用流體與芯片的熱交換實現(xiàn)流量質(zhì)量流量的測量，其工作原理如圖所示：
相對于毛細管的大尺寸來說，MEMS芯片的尺寸僅有毫米大?。ㄇ鄭u芯笙的第二代MEMS芯片尺寸為3mm×1mm，其核心敏感區(qū)更是只有0.8mm×0.4mm），由于熱容小，可實現(xiàn)更快的響應速度。下圖所示為毛細管式流量計和MEMS芯片式流量計的響應時間對比：
除此之外，得益于小體積和高集成度，MEMS芯片式流量傳感器還具有高靈敏度、高信噪比、大量程比、高一致性和高可靠性等優(yōu)點，真可謂“小身材，大能量”！
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